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硅鉬棒電熱元件是一種以二硅化鉬為基礎制成的耐高溫、抗氧化、低老化的電阻發熱元件。在高溫氧化性氣氛下使用時，硅鉬棒電熱元件表面生成一層光亮致密的石英玻璃膜，能夠保護硅鉬棒內層不再氧化，因此硅鉬棒元件具有獨特的高溫抗氧化性。
硅鉬棒具有高抗氧化性，在高溫氣氛下，原件的表面生成一層致密的石英SIO2保護層以防止MOSI2繼續氧化。當元件溫度大于1700度、熔點1710度的SIO2保護層熔融，由于表面張力的作用，SIO2熔聚成滴，而失去保護作用。元件在氧化氣氛下在繼續使用時，SIO2保護層重新生成。
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